一.序
LCD显示屏之用途以电脑、手提电话以至在电视上的需要也正在急速的增长。
各LCD显示屏厂商为增加产量简化生产工序、减低成本等，正在不断地努力，在a-siTFT之显示屏中，为增加产量特别把母玻璃尺寸增大之事宜作出测试。
示图1 母玻璃尺寸在2001年第5期时（1200mm*1200mm级）、2002～2003年时第5+期（1100mm*1250mm级）及6期（1250mm*1650mm级）等尺寸的生产予预测速度。
 |
|
图1 母玻璃尺寸 |
|
母玻璃尺寸之推移 |
 |
| HC-4意像图 |
此论文、目的是介绍在开发过程中，研究出对大型LCD基板主要之洗净技术成果。
二.清洗SEAL
对于清洗玻璃基板时，主要清洗分别以微粒子污染、有机物、金属物去微粒子的SEAL，与有关尼龙滚筒毛刷加以说明。
1)随着玻璃基板之大型化，以滚筒毛刷清洗方式进行时，接触面增大时磨擦力也随之增加的情况下，运送时出现有不安定及洗净效果不均等情况。
2)按此问题计算，刷毛之直径从本来的0.07mm改为0.05mm。增加植毛密度（3倍）后刷毛的测试参数如下图2：
接着力增加时，刷毛直径0.07玻璃基板表面之摩擦力比例引对地增加。当刷毛直径0.05mm时所产生之摩擦力一定会比前者少。
在玻璃基板运送时之影响也有一定之改善。
以2种不同直径毛刷之洗净评价结果如下图3。而毛刷直径0.07mm的洗净性能与毛刷之滚动数有相对关系，0.05mm毛刷是以较阔范围的滚动，使它有洗净的安全性。这个也与植毛之密度高的效果下有直接关系。
三.干燥seal
湿清洗处理后之玻璃基板，需干燥处理，而一般多以采用spin干燥方式或气刀方式。
玻璃基板尺寸之大型化下与TACT TIME化的进行中，使运送基板过程高速化。在此详述以气刀干燥方式使性能提高之说明。（图4）
|
|
|
图4 Air knife unitspin unit |
干燥时Air knife所吹出之slit必须均等之风速。现在随着大型化之发展下，Air knife也相对地改善。内部构造chamber slit的形状作出多次测试实验。证实了对于玻璃基板之倾斜角、玻璃基板插搬送时的安定化等、系统等配合有相当的关系。（图5）
|
|
|
图5 Air knife |
|
 |
|
基板幅（mm） |
|
图6 Air风速之平均性评价 |
从Air knife吹出slit风速分布中显示出本来之产品变动幅度（约40%），而新TYPE方式为11%之均一化。以基板搬送速度6,000mm/min.下亦可进行干燥作用。
四.洗净性能评价
上述之BRUSH，AIR KNIFE及其他图之评价及实验机
|
|
|
BRUSH |
SHOWER |
CJ/MHz |
AIR KNIFE |
| 实验条件及清洗结果，请参照图8： |
 |
|
| S≤1＜M≤3＜L≤5(μm) |
|
|
基板幅：1000mm*1200mm*0.7mm
测定器：TORAY IQ-730 |
|
图8 实验条件与清洗结果 |
清洗性能上为要达到TFT-Array工程的规格要求在2001年以后第5其采用装置在生产线上使用。
六.最后
现在显示屏厂商在第6期开始计划投资，Mechatro-nics Corp.在第5期装置之开发DATA为依据节省SPACE、节省能源系统/RPOCESS开发。
|
FPDisplay首页 >> 技术学院 >> 制程技术 >> 正文
【
