奥宝科技(Orbotech)发表其用于生产大尺寸液晶电视的高阶自动光学检测技术(Automated Optical Inspection,AOI),主要结合了瑕疵检测与分类2种方法,并表示已被认定能够提高生产效能和良率。
奥宝科技的AOI系统采用多部相机、照明和特殊的影像处理演算法,以辨识低至5微米以下的瑕疵处或少于60秒的各阶段TFT阵列制程。检查结果将根据运用学习型和规则型的先进筛选技术之分类方法自动分类,可迅速找出瑕疵所在之处,不论是正在处理的面板或基板都能够顺利执行到下一个生产步骤,抑或进行修复,甚至报废。
配备此新AOI解决方案,能将已经过适当分类的可修复瑕疵品传送至维修站,包含何处需要修复的资讯,以提升修复效率。奥宝科技的高阶良率管理解决方案包括在线和离线的AOI系统和整合EYES 2020制程数据分析的软体。
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